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產(chǎn)品分類
PRODUCT CLASSIFICATION
更新時間：2026-06-04 
瀏覽次數(shù)：120在半導(dǎo)體制造、鋰電池材料干燥及高純氣體純化工藝中，微量氧（ppm級）的滲入往往意味著產(chǎn)品良率的直接下滑。常規(guī)電化學(xué)傳感器易受干擾、漂移大且需頻繁標(biāo)定，難以滿足長期在線穩(wěn)定監(jiān)測的需求。
日本TORAY（東麗）LC-750L系列氧化鋯式氧氣濃度計，專為低濃度氧（ppm級）檢測開發(fā)，搭載東麗自研超小型氧化鋯傳感器，以能斯特（Nernst）原理實現(xiàn)高精度、長壽命、免頻繁標(biāo)定的微量氧在線分析，是高純氮氣、氬氣及惰性氣體保護(hù)工藝中值得信賴的過程監(jiān)控方案。
LC-750L內(nèi)置東麗原創(chuàng)氧化鋯陶瓷傳感器（Zirconia Sensor），兩側(cè)涂覆鉑電極并加熱至高溫工作態(tài)：
樣氣側(cè)與參比空氣側(cè)（大氣）形成氧分壓差，氧離子在氧化鋯晶格中遷移產(chǎn)生電動勢；
儀器依據(jù)能斯特方程將電動勢換算為氧濃度值，即使在10ppm以下低氧環(huán)境仍保持線性響應(yīng)；
相較于順磁或電化學(xué)原理，氧化鋯法無消耗性反應(yīng)試劑，無需定期通入標(biāo)準(zhǔn)氣標(biāo)定零點/跨度（僅需空氣單點校驗），大幅降低運維復(fù)雜度。
提供 0～10 / 100 / 1000 ppm / 100% O? 多檔固定量程（按型號），測量精度 ±2%FS，重復(fù)性 ±0.5%～±1%FS，T??響應(yīng)時間≤5～10秒，能敏銳捕捉工藝中微量氧波動。
傳感器經(jīng)特殊防劣化處理，配合可選活性炭過濾器（吸附有機(jī)物）、棉質(zhì)過濾器（防塵）、硅過濾器（吸附含硅氣體），有效延緩傳感器老化，適合復(fù)雜工業(yè)現(xiàn)場長期使用。
僅需開機(jī)→選擇對應(yīng)量程→通入樣氣即可顯示，無需復(fù)雜參數(shù)設(shè)定；4位LED數(shù)碼管直觀顯示濃度值，支持 4～20mA 模擬輸出及 RS-232C 通信，可接入DCS/PLC實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄。
壓入式（LC-750L）：樣氣帶壓（≤29.4kPa）直接接入；
泵吸式（LC-750LD / PC-120）：內(nèi)置采樣泵，適合常壓或無壓樣氣管段，抽氣流量 1000～2000mL/min；
氣體接口 Rc1/4，參比氣體為大氣，安裝便捷。
標(biāo)配上限/下限兩點濃度報警（無電壓接點輸出），氧濃度超標(biāo)即時觸發(fā)聲光或聯(lián)動切斷；部分配置帶傳感器狀態(tài)監(jiān)測功能，便于預(yù)判維護(hù)時機(jī)。
行業(yè) | 監(jiān)測對象 |
|---|---|
半導(dǎo)體/平板顯示 | 高純N?/Ar保護(hù)氣微量氧監(jiān)測、CVD/濺射腔體 purge 氣驗證 |
鋰電池制造 | 電極涂布烘干、注液手套箱、化成靜置區(qū)惰性氣體殘氧檢測 |
空分/特種氣體 | 制氮機(jī)出口、氣體純化裝置下游 O?含量在線控制 |
食品/醫(yī)藥 | 氣調(diào)包裝（MAP）頂空殘氧分析、凍干工藝保護(hù)氣監(jiān)測 |
熱處理/冶金 | 氮氣保護(hù)燒結(jié)爐入口氧含量監(jiān)控 |
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