只碰邊緣、不碰表面——KONSEI 近藤 WHA/WHF 系列晶片薄片手工作原理解析

更新時(shí)間：2026-07-03

瀏覽次數(shù)：33

返回列表

在半導(dǎo)體 wafer（晶圓）與 LCD 玻璃基板搬運(yùn)中，傳統(tǒng)平行卡爪或真空吸盤(pán)容易在器件表面留下壓痕、吸附殘留甚至造成微損傷。WHA/WHF 系列"單刀片薄片手"（邊緣夾持式晶片手）采用獨(dú)特的側(cè)臂/叉臂邊緣夾持結(jié)構(gòu)，專為避免接觸工件正反表面而設(shè)計(jì)。以下帶您了解它的內(nèi)部工作邏輯。

一、基本驅(qū)動(dòng)原理——?dú)鈩?dòng)彈簧夾緊＋負(fù)壓/氣壓開(kāi)啟

WHA 與 WHF 系列屬于邊緣夾具型（Edge Grip）氣動(dòng)夾持手，驅(qū)動(dòng)邏輯與常規(guī)雙爪氣爪不同：

夾緊（閉合）→ 彈簧力
切斷氣源/負(fù)壓時(shí)，內(nèi)部機(jī)械彈簧提供夾持力，使側(cè)臂（牙叉/Fork）向中心合攏抱住晶圓或玻璃板邊緣——即使意外斷氣，工件仍被保持，有助提升安全性。
松開(kāi)（打開(kāi)）→ 負(fù)壓氣缸或氣壓驅(qū)動(dòng)
向驅(qū)動(dòng)腔供給指定真空壓力（典型－60～－95kPa）或壓縮空氣，活塞克服彈簧力回退，帶動(dòng)凸輪/連桿機(jī)構(gòu)將側(cè)臂向外張開(kāi)釋放工件。

WHA 系列多為單側(cè)驅(qū)動(dòng)單邊臂式；WHF 系列為主叉＋側(cè)臂雙側(cè)同步驅(qū)動(dòng)式，適合較大尺寸或多片搬運(yùn)定制。

二、邊緣夾持——為什么"只碰邊緣"很重要？

WHA/WHF 的夾持元件為超薄 CFPR（碳纖維增強(qiáng)塑料）或鋁合金叉臂（Blade/Fork），厚度僅數(shù)毫米：

叉臂插入晶圓/玻璃板下方托舉，側(cè)臂內(nèi)側(cè)與工件外圓周邊緣接觸——正反面薄膜層、電路圖案不與夾具接觸，規(guī)避了夾傷、吸附印痕及微粒污染風(fēng)險(xiǎn)。
夾持點(diǎn)通常設(shè)計(jì)為 V 型或圓弧定位面，配合彈簧恒定夾持力，高速移載時(shí)可抑制工件徑向偏移（芯偏移現(xiàn)象）。

三、開(kāi)閉傳動(dòng)機(jī)構(gòu)——凸輪/連桿轉(zhuǎn)換活塞直線運(yùn)動(dòng)

內(nèi)部活塞（或膜片）受負(fù)壓/氣壓驅(qū)動(dòng)做軸向直線運(yùn)動(dòng)，經(jīng)由特殊凸輪槽或平行連桿機(jī)構(gòu)將活塞位移轉(zhuǎn)換為叉臂的徑向開(kāi)合運(yùn)動(dòng)：

開(kāi)合行程一般為 8～10mm（含夾持段＋放開(kāi)間隙），適配 φ200/φ300/φ450mm 標(biāo)準(zhǔn)晶圓或?qū)?yīng)尺寸玻璃基板
多叉臂版本（定制 5片/25片等）通過(guò)同步連桿確保各叉臂開(kāi)合一致性，單次可搬運(yùn)多片

四、潔凈室適配設(shè)計(jì)邏輯

滑動(dòng)/轉(zhuǎn)動(dòng)部使用低發(fā)塵潤(rùn)滑脂，主體及緊固件多為 SUS 不銹鋼＋PEEK 等潔凈室兼容材質(zhì)
叉臂表面可做低析出處理，整體適配 Fed-Std-209E Class 1 級(jí)（ISO Class 3）潔凈環(huán)境要求
可選配開(kāi)閉確認(rèn)傳感器（磁性開(kāi)關(guān)或光電），反饋夾持狀態(tài)給上位機(jī)做安全互鎖

納加霍里科技（深圳）有限公司作為KONSEI 近藤授權(quán)代理商，可為客戶提供選型匹配、批量供貨、技術(shù)咨詢及售后維保等一站式服務(wù)，助力企業(yè)優(yōu)化設(shè)備配套方案。如需了解詳細(xì)技術(shù)資料、獲取選型建議，歡迎隨時(shí)與我們聯(lián)系。

国产成人精品久久综合|国产午夜激无码Av片在线观看|91精品国产91久久久久久青草|久久窝窝国产精品午夜看片

只碰邊緣、不碰表面——KONSEI 近藤 WHA/WHF 系列晶片薄片手工作原理解析

只碰邊緣、不碰表面——KONSEI 近藤 WHA/WHF 系列晶片薄片手工作原理解析